答你，光刻机当然用的不是弹簧这种lo比东西，至于用的什么，我也不知道§￣▽￣§

高性能主动隔振装置！我们公司就有这个卖，需要吗？价格不贵，几十万一台而已。

？？？？？

卧槽，还不贵？

想啥呢，这种几十万的，顶多用于光学仪器上，能用于光刻机上的避震，估计最少都是几百万起步的。

人家一台光刻机卖一个多亿，米金！几百万的避震，那是小意思好吗？

.......

韩元看了眼弹幕，笑道：“隔振装置一般分成两种。”

“第一种是被动隔振，像弹簧、橡胶、海绵、泡沫等这些都属于被动隔振装置或材料。”

“这些装置或材料通过减小传递到接受结构的振动强度来实现减震，有着结构简单、易于实现、工作可靠、不需要额外消耗外界能源等优点”

“但缺点是避震效果一般，对于高精密的仪器比如光刻机或者光学透镜来说基本没什么用。”

“第二种则是主动隔振装置。”

“这种装置其实就是一个个的动作器，但这些动作器能根据检测到的振动信号，应用一定的控制策略驱动作动器，从而达到抑制或消除振动的目的。”

“我手中的图纸上绘制的，就是一种高性能的主动隔振装置。”

说着，韩元也来到了合金冶炼厂，推开大门，手中的图纸铺开，展示给观众看。

从最上面的整体结构图来看，绘制出来的主动隔振装置就像一张床垫一样。

翻开第二页、第三页、第四页.......直播间里面的观众才看到里面精密无比的零件构造。

繁多的零件上都标注着对应的名字，有传感器、测振仪、空气弹簧、作动器、驱动器、激动器等等等。

偌大的白纸上，密密麻麻的全是各种复杂的线条结构图和标注，看的直播间里面的观众眼花缭乱的。

好复杂！

一个避震器而已，用得着这么多的零件吗？

空气弹簧？为啥主动避震器里面会这玩意？它不是被动隔振吗？

谢邀，人在直播间，蹲了快两年了，终于能有看得懂了。这个问题我来回答！

续：主动隔振技术通常包含被动隔振组件和主动隔振器，被动隔振组件（空气弹簧这种）负责消除高频振动和支撑负载功能，而主动隔振技术拥有优秀的低频隔振能力，负责消除低频（0.5~10hz）的外部振动，适用于超精密测量场景。

楼上这么专业？

不，他不是专业，他是佰度的，这段话和佰度的一模一样！

窝草，这

好家伙，装逼不成反被草。

哈哈哈哈哈，人才啊，差点被他装到了。

.......

看到起哄的弹幕，韩元笑了笑，没再管这些，开始着手制备‘vaav形主动隔振装置’的相关合金零件。

这其中就包括一种名为va系列的柔软性金属制造的空气弹簧，其构成绝大部分是金属配件，包含了少量的外部橡胶。

看起来有些类似于电竞椅上的那种可升降的气压杆，或者说千斤顶，只是结构要复杂多了。

找齐需要的合金，韩元启用了电热坩埚。

虽然电热坩埚一次性能融化的合金量相对较少，但提升温度极为迅速，能节省出大量预热时间。

称量配备好的金属材料钛、铬、低碳钢、铜等材料放入坩埚中，电能供应上，坩埚迅速从红变白，里面的合金熔化，然后倒出来。

先进行去硫、去碳、消除金属气体等处理，然后将得到的金属块重新融化，在进行退火处理，使其不易弯曲成形。

然后再进行淬火+中温回火的热处理工艺，可以得到‘