l公司的光源是极紫外光，也是最先进的‘euv光刻机’上使用的光源。

这种光源的波长能控制到十纳米，已经是极限了。

不过利用平滑衍射效应、光强调节等复杂的曝光控制系统，它能对低于十纳米的曝光区域进行曝光雕刻处理。

这也是为什么十纳米的波长光源能生产出五纳米芯片的原因。

但皮米级的芯片，光源的波长恐怕得控制在一纳米以下。

一纳米的光波长度啊，听起来就让人感觉匪夷所思不可思议。

要知道一个光子能量的多少与波长和频率相关，波长越短，频率就越快，能量越高。

频率越快，能量越高，对光源的控制和收集也就越难。

就目前的极紫外光，光源工作时，需要以5万次/秒的频率，用功率20千瓦的激光来击打真空中20微米大小的锡滴，使液态锡汽化为等离子体，从而产生波长短的极紫外光。

而产生还只是第一步，产生之后，这些波长极端的光源会在真空中乱跑，还需要再将这些极短波长的极紫外光进行收集集中，变成可用于雕刻的光刀。

说实话，光是这些，这已经可以说是突破了人类脑洞的技术了。

紫光是所有光波里面波长最短的光波，越是靠近紫光，波长越短。

而极紫外光在上面进一步缩短了波长。

世界上能做到十纳米级极紫外光的国家，目前还只有一个，那就是米国。

从研发出十纳米级的极紫外光到现在，已经过去了不少年了，但没有任何一个科学家能想出进一步将极紫外光波长再缩短的想法。

对，就是想法都没有，而不是有了想法无法实现。

所以全世界的科学家压根就没法想象一纳米级波长的光源到底是怎么制造并控制的。

.......

对于直播间内观众的提问，韩元只是笑了笑，没有否认也没有确认，而是将目光投向桌面上铺开的光刻机图纸，接着道：

“这一次我制备的光刻机，其所有的结构图纸都在这里了。”

“其主体总共分成激光发生器、能量控制器、光度控制器、光镜器、掩膜台、曝光台、测量器、减震装置总计八大部分。”

“这八大部分是构成光刻机的主体结构。”

“当然，除此之外还有晶体管计算机、外部操控调节装置等等。”

一边说，韩元一边将桌上的图纸整理了一下，然后从里面找到减震装置相关的图纸，卷了起来拿在手上朝着合金冶炼厂走去。

“大家都知道，因为加工精度极高的芯片级的光刻机对存放的环境有异常严格的要求。”

“即便是一台小汽车从房间外行驶而过都会对光刻机的精度造成影响。”

“所以除了放置光刻机的楼层一般都会有特殊的避震设计外，光刻机本身也会自带隔振器，起到保护作用。”

而直播间里面的网友见韩元避开碳基芯片不正面回答他们的问题，纷纷在直播间里面声讨衰鸣装可怜起来。

别啊，主播，咱还是聊聊碳基芯片吧，减震系统有啥好聊的。

是啊是啊，我想听碳基芯片是怎么造的。

我室友得了肺癌，只有一天可活了，临死前只想听听碳基芯片，主播你就满足这个愿望吧。

一个减震而已，有什么好说的，爸爸，我想听碳基芯片！

你们是不是也太小看减震的重要性了吧？对于光刻机这种精密度极高的设备来说，稍有震动就没法使用了，甚至这种震动弱到你都可能感觉不到。

楼上说的有道理，我北大的，16号线就因为我学校的精密仪器改线了。

好奇的问一下，光刻机的避震，还是用的弹簧吗？

这个问题我可以回