光刻不到位的问题,可如果我们提高光照时间和次数,可能又会带来新的衍射以及过度曝光等问题,我们现在就是要????????????????找到最适合的工艺因子。”
用嘴简单的话语讲解了自己的想法,然后张本松才放其他工程师进来,他们把烘焙好的硅片固定在光刻机上,然后启动光刻,按照张本松的想法进行反复曝光。
这一次他们失败了,硅片在经过刻蚀以后张本松发现在进行了过度曝光后,光刻胶受到很大影响,导致不该被光刻的地方也受到了衍射曝光。
早上方焕志亲自为他们送来早餐,见张本松他们居然一晚上没睡,方焕志严厉批评了张本松。
“你应该知道厂里的制度,我也再三强调你必须休息,你这么经常性熬夜,如果你倒下了,咱南园电子厂的技术攻关还能由谁来主持?你这不仅是对自己的不负责任,更是对厂子发展的不负责任!”
张本松表示虚心接受方焕志的批评,但在早餐结束后,他马上又主持了技术会议。
在会议上,张本松表示尽管这次测试失败了,但他们也并非是完全没有收获,根据最后对硅片的分析表明他们的方向是对的。
“反复曝光的确能有效增加光刻的精准度,接下来我们的任务就是慢慢测试次数和曝光强度以及曝光时长等等,我们要进入更加枯燥反复的测试了。”
等会议结束,方焕志马上拦住所有人,揪出昨晚上没睡觉的张本松一行人,要求他们马上回宿舍休息。
张本松可不干,他表示自己都已经摸到门槛,马上就能搞定投影式光刻了,这时候他可不能下火线。
方焕志却表示他都知道了,接下来都是反复的测试工作:“这些工作任何工人都能完成,难道你张本松还不信任自己带出来的兵吗?到时候你休息好了查看他们的数据就是了。”
最终在方焕志的要求下,张本松和其他几个熬夜了的工程师们都被强制送回宿舍休息了,哪怕其他几个工程师反复解释他们并没有熬夜,只是凌晨四点钟来的也没用,方焕志本着宁杀错不放过的原则不予理会。
郑南事后得知也支持方焕志的做法:“人才才是芯片工作的重中之重,我们现在是需要掌握投影式光刻的技术要点,但并不意味着我们就要竭泽而渔孤注一掷,我们未来还有渐进式和步进式光刻机,我们还需要这些技术出众的工程师们。”
只是尽管郑南和方焕志这边都意见统一,要求张本松他们好好休息,但张本松他们却摆出一副将在外君命有所不受的架势,反正都到了晚上,也没人监督,他们自然继续通宵测试了。
开始的时候,张本松还在夜间总结会议结束后把其他人赶回去休息,他自己留下来测试。
原本其他人也都是先回去休息,到了三四点再过来。
可每次都看到张本松通宵熬夜,后来其他有追求的工程师们和技术工人也干脆不休息,陪着张本松一起熬夜测试了。
方焕志开始知道这个消息也很愤怒,揪着张本松狠狠批评了一番,还晓之以情动之以理的跟????????????????他解释正常作息的必要性。
张本松也是嘴上答应的好好的,可到了晚上他还是该熬夜熬夜。
方焕志没办法,也不可能真每天晚上蹲守车间把张本松抓回宿舍休息,就算真这么做了,也没法保证他们会不会回去休息一两个小时再跑来车间做测试。
方焕志后来也想明白了,干脆不管他晚上怎么折腾,白天抓到就让他回去休息,虽说这么做还是昼夜颠倒,但总算能保证了这些工程师们的基本休息时间。
当然张本松这些人的拼命是有回报的,就在三天以后,张本松兴冲冲的向方焕志汇报:“我们终于成功了!投影式光刻技术,虽然现在良品率还只有30,但