行曝光处理的。”

“在微电子器时代，没有任何东西更比光子适合当做用来雕刻的手术刀了。”

“稳定、可靠、速度，都是光刻机的优点。”

看到观众说激光烧蚀法和电弧放电法雕刻曝光电路图，韩元还是有点小诧异的。

因为这的确是对的。

对于毫米级，微米级的碳基芯片来说，使用这两种方法来制备碳基芯片的确是一种可行的办法。

这是碳原子的性质决定的。

无论是使用碳纳米管半导体材料，还是石墨烯半导体材料制备芯片，都能在一定程度上被激光和电弧进行雕刻。

其原理无非就是提升光的能级或者使用电弧的能量来蚀刻或击穿指定线路。

但到了十纳米这个级别的时候，上述的两种方法就都会失去原有的效果。

激光烧蚀法虽然同样是使用光源手术刀，但它使用的是红宝石或蓝宝石激光器，在能级上比光刻机使用的紫外光源要高多了

在纳米级时，激光烧蚀法生成的激光会因为能级过大而直接蚀穿栅门和基底，电弧放电法同理。

两者在纳米级雕刻时都会对栅门造成大规模不可逆的破坏，从而使整块芯片直接损坏。

这些东西都是韩元从‘碳基集成电路板制备信息’学习到的。

至少能够生产出来或者说在生产时会出现什么问题都是经过系统验证的。

不过他还是小看了观众的狂热，在随口说出来这些话后，整个直播间里面又沸腾了起来。

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